聚光科技：7350系列質譜儀提升靈敏度和抗干擾能力|速訊
2026-07-13 16:10:46 來源：財聞
(資料圖片僅供參考)
有投資者向聚光科技（300203.SZ）提問，譜育科技7350系列三重四極桿電感耦合等離子體質譜儀（ICP-MS/MS）已經開始批量交付了嗎？產品和國外比有沒有差距？還是比國外更先進
7月13日，公司回答表示，譜育科技于今年3月發布的新產品7350系列三重四極桿電感耦合等離子體質譜儀（ICP-MS/MS）在靈敏度、抗干擾能力及自動化聯用等方面實現大幅提升，針對典型半導體領域樣品（濕化學品，晶圓雜質金屬，硅烷，電子特氣等）的檢出能力穩定在sub -ppt水平，在覆蓋半導體全場景超痕量檢測需求的同時，顯著提升的靈敏度水平將有力支持半導體量測端的數據質量管理，為主流&先進制程提供更嚴格的工藝規格與材料認證。
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